Состояние разработок микроболометрических матриц в Государственном научном центре РФ "НПО "Орион""

С. Я. Андрюшин, Н. В. Кравченко, А. В. Кулыманов, Г. В. Либерова, И. И. Таубкин, М. А. Тришенков, А. М. Филачев, Ю. М. Эскин
Государственное унитарное предприятие "НПО "Орион"", Москва, Россия

Рассмотрены состояние и перспективы развития работ по микроболометрической тематике в Государственном научном центре РФ "НПО "Орион"". Приведены сведения о разработанной микроболометрической матрице (МБМ) формата 64х64. Описаны структурная схема элемента, принципиальная электрическая схема МБМ, элементы технологии изготовления МБМ, измеренные значения параметров микроболометрического слоя. Область спектральной чувствительности полученных микроболометрических структур соответствует интервалу длин волн ~(9,1—14,5) мкм, тепловая постоянная времени — интервалу значений ~(5—20) мс, оценка эквивалентной шуму разности температур дает величину ~0,3 К. Сообщается о планируемых на предприятии дальнейших работах в развитие данной тематики.

Содержание