С. В. Антоненко, К. В. Брызгунов
Московский государственный инженерно-физический институт (Технический университет), Москва, Россия

В двухстадийном процессе приготовлены пленки ВТСП на основе висмута разного фазового состава и различной толщины. Исследовано влияние длительности отжига аморфных пленок, напыленных методом магнетронного распыления на постоянном токе на подложки MgO <100>, на фазовый состав отожженных пленок различной толщины. Обнаружено, что для пленок толщиной около 2 мкм при увеличении времени отжига наблюдается ухудшение адгезионных характеристик, в то время как для пленок толщиной около 7 мкм увеличение времени отжига приводит к образованию фазы 2223.

Содержание