В. Н. Вигдорович
Институт химических проблем микроэлектроники (ИХПМ), Москва, Россия

М. А. Каримбеков
Московский энергетический институт (Технический университет), Россия

Э. С. Садыков
Ошский технологический университет, Республика Кыргызстан

Моделированием и экспериментами обоснован переход к увеличению числа зондов и прямоугольной конфигурации их расположения при контроле электросопротивления пленочных материалов. Рекомендации реализованы при исследовании пленок различных материалов и для управления технологическим процессом в ходе формирования пленок термическим испарением и конденсацией в вакууме.

Содержание