Исследование энергетического распределения ионов в области
катодного падения тлеющего разряда в аргоне, азоте и кислороде

В.Ф. Соколов, Ю.А. Соколова, И.А. Медведева

Ивановский государственный химико-технологический университет, г.Иваново, Россия

   Методом задерживающего потенциала измерены энергетические распределения положительных ионов, бомбардирующих катод, в тлеющем разряде аргона, азота и кислорода. Полученные функции распределения описаны модельными функциями, вычисленными в предположении преобладания столкновений с перезарядкой ионов на молекулах собственного газа с учетом реального распределения потенциала в темном катодном пространстве. Обсуждается механизм формирования энергетического распределения ионов в области катодного падения.

Содержание