Прикладная физика
№ 3, 2002 г.

Система контроля энергетического спектра ионных пучков

А.Н. Козлов, В.Д. Смольянинов, А.П. Еремин
Государственное предприятие "НИИ электронной и ионной оптики", Москва, Россия

А.М. Филачев
Государственный научный центр "Орион", Москва, Россия

   Одной из причин, сдерживающей внедрение технологического процесса обработки материалов лучами ионов, является отсутствие в ряде ионно-лучевых установок средств контроля важных параметров. В результате этого не обеспечивается технологическая воспроизводимость процессов ионно-лучевой обработки материалов. Одним из параметров, определяющих процесс обработки, является энергия ионов. В работе описана разработанная система контроля для анализа энергетического спектра ионов. Обычные измерения ионного поля с помощью запирающего потенциала носят интегральный характер. Для получения информации о токе ионов, обладающих малым разбросом энергии, применяется специальная схема измерения. Для получения величины тока ионов, обладающих энергией, заданной запирающим потенциалом V, накладывается на этот потенциал переменное напряжение. Регистрирующая часть прибора выделяет переменную составляющую тока ионов. Детектируя полученное напряжение, получаем сигнал, амплитуда которого пропорциональна току ионов, обладающих энергией заданной потенциалом V. Данная система позволила правильно выбрать режимы обработки, а также повысить воспроизводимость технологических процессов.

Содержание