СодержаниеПрикладная физика
№ 3, 2002 г.
Расчет
электростатических зеркал,
свободных от сферической и осевой
хроматическпй аберраций
С.Б. Бимурзаев, Г.С. Серикбаева, Е.М. Якушев
Казахский Государственный Национальный
Университет им. аль-Фараби, г.
Алматы, Республика Казахстан.
Выведены расчетные формулы для коэффициентов сферической и осевой хроматической аберраций электростатического электронного зеркала вращательной симметрии. Приведена методика исключения из подынтегральных выражений высоких порядков производных от осевого распределения потенциала в зеркальных системах. Путем численных расчетов определены условия одновременного устранения сферической и осевой хроматической аберраций в трех- и четырехэлектродных электростатических зеркалах, состоящих из соосных цилиндров равного диаметра. Дана принципиальная схема просвечивающего электронного микроскопа с темнопольным изображением, объективом которого является электростатическое электронное зеркало.
Содержание