Прикладная физика
N 1, 2003

Механизм формирования плазмы сверхкритической концентрации в микроволновом источнике CERA-PL

А. А. Балмашнов, А. М. Умнов, Вон Сун Ок, А. Е. Ернылев, А. В. Якушков
Российский университет дружбы народов, Москва, Россия

   Анализ представленных в работе результатов показывает, что сильная обратная связь между колебательной системой источника плазмы и магнетронным генератором приводит к возникновению амплитудной модуляции СВЧ-поля, изменению режима работы магнетронного генератора — переход в режим амплитудной модуляции. Следствием этого является возникновение дополнительного механизма ввода энергии в плазму, что объясняет значительный рост ее концентрации.

Содержание