Прикладная физика
N 2, 2003

Импульсно-периодический самоинициирующийся объемный разряд на смеси аргон/элегаз

А. К. Шуаибов, Л. Л. Шимон, И. В. Шевера, А. И. Дащенко
Ужгородский национальный университет, г. Ужгород, Украина

   Приводятся результаты исследования импульсно-периодического объемного разряда на смеси Ar/SF₆ при давлении <= 1 кПа. Объемный разряд в системе электродов "сферический анод — плоский катод" с межэлектродным расстоянием 3 см формировался за счет развития прилипательной неустойчивости плазмы. Изучались пространственные и вольт-амперные характеристики разряда, спектры излучения плазмы, ресурсные характеристики излучения полосы с l = 193 нм ArF(B-X), а также временные параметры напряжения, тока и суммарного излучения разрядной плазмы в спектральной области 200—700 нм.

Содержание