Прикладная физика
N 3, 2003

Слои MnCdHgTe, полученые методом ВЧ-распыления в плазме ртути

В. Й. Кавыч, М. И. Лозинская, Л. Г. Мансуров
Львовский национальный университет им. Ивана Франко, г. Львов, Украина

   Показана возможность получения монокристаллических слоев MnCdHgTe (Eg = 0,14–0,17 эВ) на подложки CdTe с ориентацией (110) реакивным осаждением в ВЧ-ртутном тлеющем разряде. Эпитаксиальный рост слоев MnCdHgTe имеет место при Тп 220—250 °C. После двухстадийной обработки в парах ртути слои MnCdHgTe характеризуются аномально высокими значениями подвижности дырок (до 1500 см²/Вс).

Содержание