Электронно-ионно-плазменное технологическое оборудование для изготовления изделий микрофотоэлектроники и точного машиностроения
А. П. Еремин, В. Д. Смольянинов, А. Н. Козлов, А. Г. Уваев
Государственное предприятие “НИИ электронной и ионной оптики”, Москва, Россия
А. М. Филачев
ФГУП «НПО “Орион”», Москва, Россия
Рассмотрено специальное электронно-ионно-плазменное технологическое оборудование для изготовления изделий микрофотоэлектроники, микроэлектроники и точного машиностроения. Оборудование предназначено для нанесения многослойных тонкопленочных покрытий, ионно-лучевого травления полупроводниковых материалов и микросварки изделий в вакууме. Приведены технические характеристики, состав и технологические возможности оборудования.
Содержание