Формирование электронных пучков малого сечения с энергией до 100 эВ в растровом электронном микроскопе
Г. И. Фатьянова, Ю. В. Куликов
ФГУП «НПО “Орион”», Москва, Россия
Б. Н. Васичев
Московский государственный институт электроники и математики
(Технический университет), Москва, Россия
Приведены результаты исследования низковольтных электронно-оптических систем, формирующих электронные пучки малого сечения с энергией до 100 эВ. Рассмотрены два варианта: с торможением электронов в зазоре магнитной линзы и с торможением электронов перед объектом.
Содержание