Моделирование поляризации диэлектрика в процессе облучения электронным пучком
С. С. Борисов, Е. А. Грачёв, Н. Н. Негуляев, Е. А. Черёмухин
Физический факультет Московского государственного университета им. М. В. Ломоносова,
Москва, Россия
С. И. Зайцев
Институт проблем технологий микроэлектроники РАН, Черноголовка, Московская обл., Россия
На основе метода Монте-Карло предложен новый подход к моделированию взаимодействия электронов с веществом. Рассмотрен ряд явлений, связанных с выделением энергии и накоплением заряда в облучаемом образце. Проведен расчет распределений потенциала электрического поля и поляризации резистов, создаваемых накопленным в процессе облучения зарядом. Показано, что зарядка является существенным обстоятельством, способным вызвать значительную потерю точности в электронной литографии.
Содержание