Влияние плазмохимического травления на свойства тонких полиимидных покрытий различных химического состава и молекулярной массы
А. А. Жуков, С. А. Жукова, Ю. С. Четверов
ОАО «ЦНИИ ”Циклон”», Москва, Россия
Г. А. Корнеева
ИНХС им. А. В. Топчиева РАН, Москва, Россия
Исследовано влияние молекулярной массы полиамидокислоты на основе пирромелитового диангидрида и оксидианилина, а также химического состава полиимидов на скорость плазмохимического травления покрытий. Методом ИК-спектроскопии показано, что при плазмохимическом травлении не происходит химических превращений в объеме полностью имидизированных покрытий. Термодинамическими расчетными методами проведена оценка устойчивости адгезионных соединений исследованных полиимидов.
Содержание