Получение однородной слабоионизованной плазмы повышенного объема в высокочастотном гриле
И. Д. Дубинова, С. С. Журавлев
Саровский физико-технический институт, г. Саров Нижегородской обл., Россия
Разработано, создано и исследовано устройство для получения ВЧЕ-разряда (ВЧ-гриль), представляющее собой диэлектрическую газонаполненную камеру, внутри которой размещены, по меньшей мере, две пары параллельных проволочных электродов, некоторые из которых подключены к ВЧ-генератору, а оставшиеся заземлены, причем все электроды находятся в одной плоскости в ряд, и подключенные к ВЧ-генератору электроды чередуются через один с заземленными электродами; подключение электродов к ВЧ-генератору осуществлено параллельным способом, а оставшихся электродов к заземлению — также параллельным способом. Измерения показали, что в нем формируется слабоионизованная плазма большого объема и высокой степени однородности.
Содержание