ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ


№ 6 Основан в 1994 г. Москва 2004


Генерация объемной плазмы на основе сильноточного газового разряда с внешней инжекцией электронов

А. В. Визирь, Е. М. Окс, М. В. Шандриков, Г. Ю. Юшков
Институт сильноточной электроники СО РАН, г. Томск, Россия

   Представлены результаты исследований сильноточного газового разряда низкого давления с электронным эмиттером на основе дугового контрагированного разряда. Рассмотрены физические особенности процесса генерации плазмы в такой системе. Особенности конструкции электронного эмиттера обеспечивают длительный срок службы за счет уменьшения скорости эрозии дугового катода, а также уменьшают загрязнение газовой плазмы ионами и атомами металла. Напряжение горения в непрерывном режиме функционирования разряда составляет 50—150 В при токе разряда до 20 А. Показано, что при одновременной работе трех таких идентичных разрядных систем обеспечивается генерация однородной и стабильной газовой плазмы с концентрацией до 1011 см-3 в объеме 1 м3 при давлении в вакуумной камере уровня 10-3 Торр. Разрядная система отличается высокой энергетической эффективностью, однородностью концентрации генерируемой плазмы, возможностью работы с химически активными газами, простотой в настройке и обслуживании, большим сроком службы.

Содержание