№ 3-4 | Основан в 1994 г. | Москва 1995 |
НЕРАВНОВЕСНАЯ ПЛАЗМА ХЛОРА - ХИМИЯ И ПРИМЕНЕНИЕ
В. И. Светцов, А. М. Ефремов
Ивановская государственная химико-технологическая академия, Иваново, Россия
Приведены экспериментальные и расчетные данные по параметрам и количественному составу нейтральной и заряженной компонент хлорной плазмы, а также по скоростям термического и плазмохимического травления металлов и полупроводников. Рассмотрены механизмы влияния добавок аргона на скорость травления и возможности эмиссионной спектроскопии для контроля процесса травления. Предложены пути обезвреживания хлора в отходящих газах плазмохимических установок.