ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ


№ 3-4 Основан в 1994 г. Москва 1995


НЕРАВНОВЕСНАЯ ПЛАЗМА ХЛОРА - ХИМИЯ И ПРИМЕНЕНИЕ

В. И. Светцов, А. М. Ефремов
Ивановская государственная химико-технологическая академия, Иваново, Россия

   Приведены экспериментальные и расчетные данные по параметрам и количественному составу нейтральной и заряженной компонент хлорной плазмы, а также по скоростям термического и плазмохимического травления металлов и полупроводников. Рассмотрены механизмы влияния добавок аргона на скорость травления и возможности эмиссионной спектроскопии для контроля процесса травления. Предложены пути обезвреживания хлора в отходящих газах плазмохимических установок.

Содержание