ОБЕСПЕЧЕНИЕ ТОЧНОСТИ ПРИ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ ИЗМЕРЕНИЯХ СВЕРХМАЛЫХ РАЗМЕРОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТЕОРЕТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ И МЕР С ПРИРОДНЫМИ КОНСТАНТАМИЫ
А. И. Козлитин, А. В. Никитин, В. Н. Сретенский
Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф. В. Лукина, Москва, Россия
Обсуждаются возможности "безэталонных" методов измерений сверхмалых размеров в растровом электронном микроскопе (РЭМ). Показано, что при использовании теоретических моделей формирования видеосигнала, мер периода и природных констант удается снизить погрешности измерений до нескольких нанометров.
Содержание