СТИМУЛИРОВАННАЯ ДЕСОРБЦИЯ В ПУЧКАХ ЭЛЕКТРОНОВ И ИОНОВ ДЛЯ СУБМИКРОННОЙ ЛИТОГРАФИИ
Б. С. Борисов, М. К. Залялютдинов, Е. П. Кириленко, А. Ю. Трифонов
Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф. В. Лукина, Москва, Россия
Исследована десорбция дихлорида палладия, стимулированная электронными возбуждениями в пучках электронов и ионов. В качестве прямых методов исследования использована вторично-ионная масс-спектрометрия и оже-спектроскопия. Выяснена природа сил, приводящая к десорбции хлора из дихлорида палладия. Показана возможность создания на поверхности кремниевых пластин узора из металлического палладия с субмикронными размерами путем облучения остросфокусированным электронным или ионным лучом пленки дихлорида палладия. Обоснована перспективность использования десорбции стимулированной электронными возбуждениями для субмикронной литографии, так как при этом используются низкие энергетические пороги пучков и, следовательно, радиационные дефекты не будут возникать. В процессе не используется резист, что существенно сокращает число операций литографии.
Содержание