МЕЖДУНАРОДНЫЙ СИМПОЗИУМ ПО ПУЧКОВЫМ ТЕХНОЛОГИЯМ (ИОННЫМ, ЭЛЕКТРОННЫМ, ПЛАЗМЕННЫМ)
Н. В. Плешивцев
РНЦ "Курчатовский институт", Москва, Россия
Рассмотрены области применения ионных пучков и плазмы. Обсуждены тезисы докладов по источникам быстрых ионов и атомов, ионным и плазменным ускорителям, физике и материаловедению ионной имплантации, ионно-пучковой обработке диэлектриков, модификации материалов высокоэнергетическими ионами, получению алмазоподобных пленок и сверхтонких мишений. Проведено обобщение представленных результатов.
Содержание