МЕТОД РАСЧЕТА НЕПАРАКСИАЛЬНЫХ ТРАЕКТОРИЙ В ШИРОКОУГОЛЬНЫХ И ИММЕРСИОННЫХ ОСЕСИММЕТРИЧНЫХ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМАХ, СОДЕРЖАЩИХ КОМБИНИРОВАННЫЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И МАГНИТНЫЕ ПОЛЯ
Л. Б. Розенфельд
ГП Научно-исследовательский институт электронной и ионной оптики, Москва, Россия
Е. П. Михальцов, В. Н. Васичев
Московский институт электроники и математики (Технический университет)
Дано описание метода аппроксимации скалярного потенциала и компонента поля на большом удалении от оси электронно-оптической системы степенными рядами с известным значением радиуса круга сходимости и минимизацией абсолютной ошибки отклонения. Показано, что точность расчетов практически определяется точностью, с которой известно осевое распределение потенциала. Описан метод расчета, пригодный для широкоугольных иммерсионных систем с наложенными электрическими и магнитными полями. Приводятся результаты тестирования предложенного метода и разработанных программ для электрических и магнитных полей, в которых задача определения полей и траекторий имеет аналитическое решение.
Содержание