РАСЧЕТ РЕЖИМОВ РАБОТЫ И ОСНОВНЫХ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ИЗОБРАЖАЮЩЕЙ И ОСВЕТИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМ СВЭМ-1
И. С. Макарова
ГП НИИ электронной и ионной оптики, Москва, Россия
Дано описание программ, разработанных на IBM PC AT для машинного моделирования и расчетного исследования многолинзовой изображающей и осветительной систем просвечивающих ЭМ. Приведены результаты расчетов электронно-оптической системы СВЭМ-1 с помощью этих программ. Показано, что СВЭМ-1 реализует панкратический режим в диапазоне увеличений от 1 000 000х до 100х с допустимой величиной масштабных искажений (< 2 %), обусловленных дистор-сией, на экране с диаметром 150 мм. Найдено минимально возможное значение МДС проекционной линзы, обеспечивающее весь спектр увеличений. Исследована возможность применения полюсного наконечника с диаметром D и шириной зазора S, равных по 6 мм, работающего с большим насыщением материала магнитопровода. Расчетное значение дифракционного предела разрешения, получаемого с этим полюсным наконечником, составляет 0,09 нм. Промоделированы и рассчитаны все основные режимы работы электронно-оптической системы СВЭМ-1. Рассчитано положение объекта в зазоре полюсного наконечника объектива.
Содержание