СПЕКТРАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ НА КАТОДЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА В ХЛОРЕ
Н. Л. Овчинников, В. И. Светцов, А. М. Ефремов
Ивановская государственная химико-технологическая академия, Иваново, Россия
Методами оптической эмиссионной спектроскопии и гравиметрии проведено исследование травления кремня в плазме хлора на катоде тлеющего разряда. Проведен анализ спектра излучения прикатодных областей в чистом хлоре и при травлении кремния. Показано, что для исследования и контроля процесса травления кремния целесообразно использовать линию кремния 443,3 нм и полосу хлорида кремния 287,2 нм, интенсивность излучения которых удовлетворительно коррелируют со скоростью травления.
Содержание