Некоторые вопросы проектирования систем модуляции
пучка в технологическом электронно-лучевом
оборудовании для размерной обработки

Л.Б. Розенфельд, А.М. Филачев
ГП Научно-исследовательский институт электронной и ионной оптики, Москва, Россия

   Дан анализ достоинств и недостатков различных систем модуляции электронного пучка в прецизионном электронно-лучевом оборудовании для размерной обработки. Оценено влияние импульсной модуляции электронной пушки на стабильность технологических характеристик пучка м показано, что использование в технологическом оборудовании метода бланкирования электронного пучка позволяет стабилизировать форму и удельнуцю мощность обрабатывающего импульса тока. Приведены формулы для инженерного расчета основных элементов системы бланкирования и даны рекомендации по ее конструированию. Показано, что метод бланкирования может применен в технологических установках средней мощности при использовании двухкоординатной отклоняющей системы и водоохлаждаемой ограничивающей диафграгмы.

Содержание