Ионные источники для технологического
ионно-плазменного оборудования

А.П. Еремин, В.Д. Смольянинов, А.М. Филачев
ГП Научно-исследовательский институт электронной и ионной оптики, Москва, Россия

   Дан анализ тенденций развития ионно-лучевых источников для технологического ионно-плазменного оборудованияю Рассмотрены характеристики разработанных в институте ионного источников и физические принципы, лежащие в основе их работы. Проанализированы особенности каждого ионного источника, определена область их применения.

Содержание