Высокопроизводительная технологическая линия
нанесения тонкопленочных покрытий для выпуска
теплосберегающего стекла и плоских
высокоинформативных цветных экранов

А.П. Еремин, В.Д. Смольянинов,В.В. Константинов, А.М. Филачев
ГП Научно-исследовательский институт электронной и ионной оптики, Москва, Россия

   Предлагаемая технологическая линия непрерывного действия нанесения тонкопленочных многослойных покрытий из металлов и их соединений, а также тонких слоев аморфного кремния, нитрида кремния, окиси магния и других материалов на крупногабаритные плоские подложки с высокой адгезией предназначена для выпуска теплосберегающего стекла, плоских высокоинформативных цветных экранов и других изделий.

Содержание