Разработка вычислительных методов и пакета прикладных программ для моделирования электронно-лучевых технологических установок

А. М. Филачев

Государственное унитарное предприятие “НПО "Орион"”, Москва, Россия

С. В. Андреев, М. А. Монастырский, В. А. Тарасов

Институт общей физики РАН, Москва, Россия

И. Ш. Белуга, И. С. Гайдукова, А. Г. Муравьев

Государственное предприятие "НИИ электронной и ионной оптики", Москва, Россия

Математическое моделирование современных электронно-лучевых технологических установок, предназначенных для прецизионной обработки различных материалов электронным пучком высокой энергии, предполагает "сквозной просчет" электронного пучка с учетом всех элементов колонны, включая термоэмиссионную электронную пушку, электромагнитную фокусирующую и отклоняющую системы. В данной статье представлен новый пакет прикладных программ “CHARGE” и обсуждаются некоторые численные результаты математического моделирования электронной оптики ЭЛТУ.