Моделирование полевой эмиссии горячих электронов из кремниевого микрокатода

В.А. Федирко1, С.В. Поляков2, Ю.Н. Карамзин2, И.Г. Захарова2,

1) Московский государственный технологический университет “СТАНКИН”,

2)Институт математического моделирования РАН

Построена двумерная квазигидродинамическая модель полевой эмиссии электронов из кремниевого микрокатода, учитывающая эффекты разогрева электронов в сильном электрическом поле. Предложен оригинальный численный метод решения, обеспечивающий консервативность и слабую монотонность разностного решения. Проведено численное моделирование стационарных состояний эмиттера. Полученные результаты существенны при разработке эффективных кремниевых автокатодов для устройств вакуумной микроэлектроники.