А. П. Еремин, В. Д. Смольянинов
ГП "Научно-исследовательский институт электронной оптики", Москва, Россия

А. М. Филачев
Государственный научный центр НПО "Орион", Москва, Россия

Рассмотрены характеристики и возможности магнетронного и ионного распылителя.