Содержание журнала с 1997 г.
| Филачев А. М. Четвертый Всероссийский семинар "Проблемы теоретической и прикладной электронной оптики". | 5 |
| Васичев Б. Н., Филачев А. М. Электронная и ионная оптика и электронно- и ионно-лучевое оборудование в Государственном институте электронной и ионной оптики (к 25-летию) | 7 |
| Васичев Б. Н. Конструктивные особенности комплекса оборудования для прецизионной электронной микролитографии. | 26 |
| Васичев Б. Н., Дицман С. А., Бочаров Е. П., Савуков В. Т. Установка для межоперационного контроля полупроводниковых структур микрофотоэлектроники на работоспособность и анализа на отказ в технологическом процессе их производства. | 47 |
| Васичев Б. Н., Чернова-Столярова Е. Е., Розенфельд Л. Б. Установка для межоперационного контроля за качеством поверхности подложек и тонких пленок микроструктур изделий микроэлектроники в технологическом процессе. | 58 |
| Васичев Б.Н. Управление пространственной информацией электронно-лучевых волновых полей в электронно-лучевых вычислителях и электронных микроскопах | 67 |
| Андреев С. В., Монастырский М. А., Тарасов В. А., Муравьев А. Г. Разработка программного обеспечения для математического моделирования электронных пушек с катодами произвольной формы. | 77 |
| Переводчиков В. И., Шапенко В. Н., Мартынов В. Ф.. Стальков П. М., Шапиро А. Л. Новый класс мощных электронных приборов - электронно-лучевые вентили. | 86 |
| Коротаев Ю. В., Мешков И. Н., Петров А. Л., Сидорин А. О., Смирнов А. В., Сыресин Е. М. Эффекты пространственного заряда в интенсивных электронных пучках в методе электронного охлаждения. | 95 |
| Морозов А. И., Балебанов В. М., Бугрова А. И., Липатов А. С., Харчевников В. К. СПД-фокусирующая плазменная система с поверхностно-доминантным разрядом. | 106 |
| Еремин А. П., Смольянинов В. Д., Филачев А. М. Ионный распылитель со встречно-расположенными мишенями. | 118 |
| Завъялов М. А., Переводчиков В. И., Сыровой В. А. Проблемы электронно-оптических систем для перспективных пучково-плазменных приборов СВЧ. | 122 |
| Пятышев Е. Н., Лурье М. С., Попова И. В., Казакин А. Н. Специфика технологии микроэлектромеханических устройств. | 133 |
| Абдульманов В. Г., Короткова В. Л., Масленников О. Ю., Невский П. В., Рыбачек В. П., Федяев В. К. Электронно-оптическая система источника многозарядных ионов MIS-1. | 138 |
| Абдульманов В. Г., Дементьев Е. Н., Мигинская Е. Г., Мироненко Л. А., Пирогов О. В., Томилов В. П., Цуканов В. М. Электронно-лучевой источник многозарядных ионов ИМИ-2. | 144 |
| Матышев А. А. О пространственно-временной аберрации и ее возможных применениях в корпускулярной оптике. | 149 |
| Матышев А. А. Изотраекторная динамика как новая область корпускулярной оптики. | 155 |
| Матышев А. А. Об изотраекторном поперечном дифференциальном инварианте. | 161 |
| Куликов Ю. В., Прянишников И. Г., Тарасов В. А. Опыт компьютерного проектирования электронно-оптической системы электронно-оптического преобразователя с магнитной фокусировкой изображения. | 165 |
| Мельник В. И., Мельник И. В., Порицкий П. В. Численное моделирование технологического процесса нанесения тонких пленок в газоразрядных электронно-лучевых испарителях. | 168 |
| Мельник В. И., Мельник И. В. Исследование оптики электродных систем высоковольтного тлеющего разряда с использованием метода компьютерного анализа изображений. | 173 |
Содержание журнала с 1997 г.