Е. Н. Пятышев, М. С. Лурье
Санкт-Петербургский государственный технический университет, Россия

И. В. Попова, А. Н. Казакин
АОЗТ "Гирооптика", Санкт-Петербург, Россия

Рассмотрены отличия технических требований некоторых базовых технологических операций изготовления микроэлектромеханических преобразователей от микроэлектронных технологий. На примере технологического маршрута вибрационного микрогироскопа показаны недостаточность средств микроэлектроники для решения задач микромеханики и необходимость разработки новых базовых технологических операций.