Повышение эффективности цилиндрических магнетронных распылительных систем с вращающимся катодом
А. Н. Захаров, А. А. Соловьев, Н. С. Сочугов
Институт сильноточной электроники СО РАН, г. Томск, Россия
Цель работы — повышение эффективности цилиндрических магнетронных распылительных систем с вращающимся катодом за счет расширения области однородного нанесения покрытий и снижения ускоренной эрозии концевых частей катода. Разработана конструкция магнитной системы с увеличенным на ее концах магнитным полем (на 5—15 %) и модифицированными поворотными частями, позволяющая расширить область нанесения покрытия с однородностью ±1 % на 13 см и полностью устранить ускоренную эрозию концевых частей катода.
Содержание