ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ


№ 6 Основан в 1994 г. Москва 2003


Гибридное фотоприемное устройство на основе линейки 1х384 InAs МДП-структур для спектрометрических применений

В. М. Базовкин, Н. А. Валишева, А. А. Гузев, В. М. Ефимов, А. П. Ковчавцев, Г. Л. Курышев, И. И. Ли, А. С. Строганов
Институт физики полупроводников СО РАН, г. Новосибирск, Россия

   Разработаны технология и конструкция линейки МДП-фотоприемников 1x384 на автоэпитаксиальной подложке InAs и приведены результаты экспериментального обследования ИК-фотоприемного устройства (ИК ФПУ), предназначенного для быстродействующих спектрометров с временами регистрации 0,1—50 мс.

Содержание