Моделирование взаимодействия электронного пучка с гетерогенными средами методом Монте-Карло в приближении дискретных потерь
С. С. Борисов, Е. А. Грачев
Физический факультет Московского государственного университета им. М. В. Ломоносова,
Москва, Россия
С. И. Зайцев
Институт проблем технологий микроэлектроники РАН, Черноголовка, Московская обл., Россия
Рассмотрены проблемы моделирования спектра обратнорассеянных и истинно-вторичных электронов, а также спектров на прострел методом дискретных потерь. Полученная модель позволяет отделять электронные спектры от образцов сложной 3-мерной топологии, и в силу большей точности используемого метода дискретных потерь точнее оценивать распределение выделившейся энергии и заряда. Результаты моделирования сравниваются с экспериментальными данными, приводятся примеры моделирования изображения в РЭМ.
Содержание