Использование ионных источников с широким пучком для решения задач микрофотоэлектроники
А. Н. Козлов, В. Д. Смольянинов, А. П. Еремин
Государственное предприятие “НИИ электронной и ионной оптики”, Москва, Россия
А. М. Филачев
ФГУП «НПО “Орион”», Москва, Россия
Рассмотрены вопросы подачи газа при использовании ионных источников в технологических ионно-лучевых установках при комбинации с напылитель-ным и другим технологическим оборудованием. Даны рекомендации по исполь-зованию промышленных ионных источников в технологических установках.
Содержание